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如何選擇CVD管式爐系統?


CVD系統的選擇較為復雜,有不同的實驗要求就會有不同的設備與其搭配。這篇文章主要是講述CVD管式爐系統選購中可能會用到的一些信息僅供您參考。
CVD系統理論上即:兩種或者兩種以上的氣態原材料導入到一個反應室內,然后它們之間相互產生化學反應,形成一種新的材料,然后沉積到基底表面上。CVD系統主要由多路供氣系統或液態蒸發器+各種型號管式爐+各種型號的抽氣系統組成。
CVD設備的靈活度很高,客戶可以根據自己試驗要求選擇合適的產品來組合,或者直接選擇套裝。
建議:如果您想分開購買CVD設備的時候最好跟萊步客戶的技術員溝通下,看下是否需要一些必要的配件,避免分體購買CVD中的設備造成配件不全不能立即實驗,影響你們的實驗進度。
一、管式爐的選擇(一般CVD系統中都是管式爐)
您需要提供CVD實驗需要的溫度以及實驗步驟。如何選擇管式爐,可以與南京萊步科技選擇,我們有不同溫度的管式爐。
二、供氣系統的選擇
供氣系統又稱為混氣系統裝置,它可以實現2種或者2種以上的氣體或者蒸汽按照一定的比例來混合,然后通入到高溫管式爐中。
南京萊步科技根據流量計的不同可以分為2類。
1、氣體流量計
1)浮子流量計:氣體是通過普通的浮子流量計粗略的估計進氣量。
2)質量流量計:氣體通過質子流量計精確控制進氣量。
2、氣液混合流量計:主要是用于液體高溫氣化后導入CVD系統的設備
三、真空系統的選擇
真空系統為CVD實驗提供實驗的真空環境,將管式爐中的空氣抽走,達到真空的環境??蛻艨梢愿鶕约簩嶒炈枵婵斩却笮∫约皩嶒炈枨鍧嵆潭葋磉x擇合適的真空裝置。


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